掺杂气体

掺杂气体可用于给晶圆添加涂层（注入离子，以提高导电性)。砷化氢、乙硼烷和磷化氢是最常用的掺杂气体。砷化氢气体含有砷元素，乙硼烷含有硼元素，磷化氢含有磷元素。

作为气体，它们比固体更危险，因为更容易接触和进入人体。存储砷化氢、乙硼烷和磷化氢气体的容器内也有液态的这些物质。尽管大多数暴露是吸入这些物质的烟雾，但容器泄漏出的既可能是液体也可能是气体。

装卸晶圆、更换气瓶以及清洁维护离子注入机的工人都可能接触掺杂气体。同车间的其他工人也可能接触。

如果误食液态掺杂剂，其可能在腹中变成气态并损害消化道。

下面图表中包含的只是部分掺杂气体。参阅第8章 “了解你的工厂中使用的化学品”和本章 “查找化学品和材料信息的可信网站”两节，可找到更多关于掺杂气体的信息。关于一些掺杂气体的别名，可参阅本章 “化学品名称索引”。

防止或减少暴露的方法：

使用通风系统排走烟雾，用干净空气替换或稀释脏空气。机器内部也需要排风扇，以防止气体逸出进入车间（参见第17章：通风)。
最可能出现事故的设备应该封闭起来遥控操作，以减少工人的暴露。
应穿戴防护装备，例如化学品防护镜、手套、防化学品飞溅围裙和呼吸器，尤其是直接接触气瓶和离子注入机零件（例如真空泵和离子源）的工人（参见第18章：个人防护装备)。
针对泄漏、飞溅和意外暴露制定应急方案。方案应包括急救治疗和防护装备。在工作场所适合储存足够的应急必需品，让工人可以随时使用。
所有掺杂剂都极为易燃，并且可能爆炸。存放和使用它们的区域必须保持凉爽，并且必须监测空气。这些区域还应配备火灾警报器和灭火器，并且应有消防应急方案（请参阅第11章：火灾)。

掺杂气体
	Arsine (arsenic hydride, hydrogen arsenide) 砷化氢（砷化三氢，三氢化砷）	CAS No. 7784-42-1
	Diborane (boroethane, boron hydride, diboron hexahydride) 乙硼烷（硼乙烷，硼氢化合物，六氢化二硼）	CAS No. 19287-45-7
	Phosphine (hydrogen phosphide, phosphorus hydride) 磷化氢（膦）	CAS No. 7803-51-2
它们是什么样的？掺杂剂是无色气体。砷化氢和磷化氢气味难闻，像大蒜或腐烂的鱼。乙硼烷闻起来有种令人不适的甜味。如果能闻到它们的气味，说明空气中的浓度已经足以造成伤害。
哪里会用到？掺杂剂可用于电子业中“离子注入”的工序，该工序可以提高晶圆导电性。
接触身体的后果皮肤 T它们可能会刺激皮肤。气态掺杂剂对皮肤无毒；但液态掺杂剂会迅速烧伤皮肤（感觉上是寒冷和麻木），应将其视为化学烧伤尽快处理。急救见第8章 “化学品急救”一节。眼睛它们的烟雾可能会刺激眼睛。液态掺杂剂会严重烧伤眼睛。急救见第8章 “化学品急救” 一节。鼻/肺它们的烟雾会刺激鼻、喉和肺，引起咳嗽和气喘。吸入这些气体会使人感到虚弱、头晕、头昏眼花，还会呼吸急促甚至晕倒。有些症状类似“金属烟热”——感觉像是有多种症状的流感：头痛、发烧、发冷、身体酸痛、胸闷和咳嗽。大量暴露也会在肺部形成积液，也就是肺水肿。急救见第8章 “化学品急救”一节。口/腹掺杂气体进入腹中会造成消化道受损，并导致腹痛、恶心、呕吐和腹泻。急救见第8 章 “化学品急救”一节。误食应就医。
长期接触的影响：所有掺杂剂都会伤害肝脏、肾脏和神经系统，导致无力、肌肉抽搐和四肢不协调。砷化氢会杀死红细胞（溶血反应），从而导致贫血。持续吸入砷化氢会杀死大量红细胞，从而导致肾衰竭。皮肤和眼睛变黄是危险信号，应立即就医。砷化氢可能导致皮肤、肝、肾、肺和膀胱的癌症。乙硼烷会伤害肺部并引起慢性支气管炎和其他呼吸问题。磷化氢也会伤害肺部并引起慢性支气管炎和其他呼吸问题。一次吸入大量磷化氢会导致心脏和肾衰竭。皮肤和眼睛变黄是危险信号，应立即就医。
如果有暴露危险，应使用哪些防护用品：更换真空泵油和气体容器时，应同时佩戴氯丁橡胶手套和丁腈手套，并佩戴围裙和眼部/ 面部防护装备 (请参阅第18章：个人防护装备)。所有防护装备使用后必须彻底清洁或丢弃。清洁离子源、更换真空泵或气体容器，或对机器进行其他维护之时，都应使用自供空气式呼吸器。
更安全的替代品：单乙基砷是毒性较低的砷化氢替代品。