Hesperian Health Guides

掺杂气体

掺杂气体可用于给晶圆添加涂层(注入离子,以提高导电性)。砷化氢、乙 硼烷和磷化氢是最常用的掺杂气体。砷化氢气体含有砷元素,乙硼烷含有硼元 素,磷化氢含有磷元素。

作为气体,它们比固体更危险,因为更容易接触和进入人体。存储砷化氢、 乙硼烷和磷化氢气体的容器内也有液态的这些物质。尽管大多数暴露是吸入 这些物质的烟雾,但容器泄漏出的既可能是液体也可能是气体。

装卸晶圆、更换气瓶以及清洁维护离子注入机的工人都可能接触掺杂气 体。同车间的其他工人也可能接触。

如果误食液态掺杂剂,其可能在腹中变成气态并损害消化道。

下面图表中包含的只是部分掺杂气体。参阅第8章 “了解你的工厂中使用 的化学品”和本章 “查找化学品和材料信息的可信网站”两节,可找到更多关于 掺杂气体的信息。关于一些掺杂气体的别名,可参阅本章 “化学品名称索引”

防止或减少暴露的方法:

  • 使用通风系统排走烟雾,用干净空气替换或稀释脏空气。机器内部也需 要排风扇,以防止气体逸出进入车间(参见 第17章: 通风)。
  • 最可能出现事故的设备应该封闭起来遥控操作,以减少工人的暴露。
  • 应穿戴防护装备,例如化学品防护镜、手套、防化学品飞溅围裙和呼吸 器,尤其是直接接触气瓶和离子注入机零件(例如真空泵和离子源)的 工人(参见 第18章:个人防护装备)。
  • 针对泄漏、飞溅和意外暴露制定应急方案。方案应包括急救治疗和防护 装备。在工作场所适合储存足够的应急必需品,让工人可以随时使用。
  • 所有掺杂剂都极为易燃,并且可能爆炸。存放和使用它们的区域必须保 持凉爽,并且必须监测空气。这些区域还应配备火灾警报器和灭火器, 并且应有消防应急方案(请参阅 第11章:火灾)。


掺杂气体


Arsine (arsenic hydride, hydrogen arsenide) 砷化氢(砷化三氢,三氢化砷) CAS No. 7784-42-1

fire or explosive


might cause cancer

immediate death


Diborane (boroethane, boron hydride, diboron hexahydride) 乙硼烷(硼乙烷,硼氢化合物, 六氢化二硼) CAS No. 19287-45-7

fire or explosive





Phosphine (hydrogen phosphide, phosphorus hydride) 磷化氢(膦) CAS No. 7803-51-2

fire or explosive



immediate death

它们是什么样的?
掺杂剂是无色气体。 砷化氢和磷化氢气味 难闻,像大蒜或腐烂的鱼。 乙硼烷闻起来 有种令人不适的甜味。如果能闻到它们的 气味,说明空气中的浓度已经足以造成伤 害。
哪里会用到?
掺杂剂可用于电子业中“离子注入”的工 序,该工序可以提高晶圆导电性。 
接触身体的后果
皮肤

T它们可能会刺激皮肤。气态掺杂剂对皮肤无毒;但液态掺杂剂会迅速烧伤皮肤(感觉上 是寒冷和麻木),应将其视为化学烧伤尽快处理。急救见第8章 “化学品急救”一节。

眼睛

它们的烟雾可能会刺激眼睛。液态掺杂剂会严重烧伤眼睛。急救见第8章 “化学品急救” 一节。

鼻/肺

它们的烟雾会刺激鼻、喉和肺,引起咳嗽和气喘。吸入这些气体会使人感到虚弱、头晕、 头昏眼花,还会呼吸急促甚至晕倒。有些症状类似“金属烟热”——感觉像是有多种症状 的流感:头痛、发烧、发冷、身体酸痛、胸闷和咳嗽。大量暴露也会在肺部形成积液,也 就是肺水肿。急救见第8章 “化学品急救”一节。

口/腹

掺杂气体进入腹中会造成消化道受损,并导致腹痛、恶心、呕吐和腹泻。急救见第8 章 “化学品急救”一节。误食应就医。

长期接触的影响:

所有掺杂剂都会伤害肝脏、肾脏和神经系统,导致无力、肌肉抽搐和四肢不协调。

砷化氢会杀死红细胞(溶血反应),从而导致贫血。持续吸入砷化氢会杀死大量红细胞, 从而导致肾衰竭。皮肤和眼睛变黄是危险信号,应立即就医。 砷化氢可能导致皮肤、肝、 肾、肺和膀胱的癌症。

乙硼烷会伤害肺部并引起慢性支气管炎和其他呼吸问题。

磷化氢也会伤害肺部并引起慢性支气管炎和其他呼吸问题。一次吸入大量磷化氢会导致 心脏和肾衰竭。皮肤和眼睛变黄是危险信号,应立即就医。
如果有暴露危险,应使用哪些防护用品:

更换真空泵油和气体容器时,应同时佩戴氯丁橡胶手套和丁腈手套,并佩戴围裙和眼部/ 面部防护装备 (请参阅 第18章:个人防护装备)。 所有防护装备使用后必须彻底清洁或丢 弃。

清洁离子源、更换真空泵或气体容器,或对机器进行其他维护之时,都应使用自供空气 式呼吸器
更安全的替代品:
单乙基砷是毒性较低的砷化氢替代品。


这页已被更新: 12 1月 2021